3D-Oberflächenmessplatz FORM TALYSURF 120 PC
 |
FORM TALYSURF 120 PC, Taylor Hobson
-
Vorschublänge 120 mm
-
Meßbereich 1 mm, Auflösung 32 nm
-
Meßbereich 2 mm, Auflösung 64 nm bzw.
-
Meßbereich 28 mm
-
Software:
-
y-Verschiebetisch, Newport
- Verfahrbereich 150 mm
-
min. Schrittweite 1 µm
Laserfokussensor MICROFOKUS, UBM
|