INSTITUT FÜR

FERTIGUNGSTECHNIK UND

QUALITÄTSSICHERUNG

FORM TALYSURF 120 PC, Taylor Hobson

• Vorschublänge 120 mm
• Meßbereich 1 mm, Auflösung 32 nm
• Meßbereich 2 mm, Auflösung 64 nm bzw.
• Meßbereich 28 mm
• Software:
• • Rauheit, Welligkeit, Form
  • Kontur
  • 3D-Oberfläche

y-Verschiebetisch, Newport

• Verfahrbereich 150 mm
• min. Schrittweite 1 µm

Laserfokussensor MICROFOKUS, UBM

• Meßbereich 1 mm