Laserinterferometersystem ZLM 500, Carl Zeiss Jena

Erfassung von:

• Positionsabweichungen
• Längen, Winkel
• Geradheit, Ebenheit
•  Schwingungen
• CNC-Steuerungskompensation

Rotatorische Geber, Heidenhain

Erfassung von:

• Teilungsabweichungen
• Kombinationen aus Längen (Laser) und Winkelmessungen (z.B. Wälzabweichungen)